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解禁ASML的EUV光刻机终于要卖给中国了

半导体厂有钱难买EUV?


日前,全球光刻巨头ASML(阿斯麦)正式澄清,EUV要进口到中国完全没有任何问题!2019年,中国或将迎来首台EUV光刻机。


众所周知,芯片是电子产品所必不可少的组件,芯片制造商要想成功地制造出芯片来,必须用到光刻机。对芯片制造商来说,光刻机就是核心的生产设备。


目前,全球仅有极少数的光刻机设备厂商能够研制出高端光刻机,而荷兰的ASML则拥有全球晶圆厂光刻机设备高达8成的市场份额,在干式曝光机、浸润式光刻机,EUV(极紫外线光刻机)的市场几乎处于独霸地位,台积电、三星、英特尔等国际半导体巨头都是其客户。



由于EUV光刻机的生产难度和成本都非常大,导致ASML的EUV全年出货仅12台,明年可望增加至20台,现累积未出货订单约27台,其中有5台已被台积电预订,费款高达5.5亿美元。


在国内,一直流传着一种声音....受西方《瓦森纳协议》的限制,中国只能买到ASML的中低端产品,出价再高,也无法购得ASML的高端设备。甚至还有人认为,台积电、三星等在制程上之所以大幅领先中芯国际,主要是因为ASML最先进的光刻机对禁售。


那么,ASML的EUV光刻机真的对禁售?到底是受产量限制,还是相传受到国际条约《瓦森纳协议》的制约?


近日,ASML中国区总裁金泳璇在接受媒体(DIGITIMES)采访时正式澄清,ASML对晶圆厂与国际客户一视同仁,只要客户下单,EUV要进口到中国完全没有任何问题。在交期方面,所有客户也都完全一致,从下单到正式交货,均为21个月。


他还透露,目前已有晶圆厂巨头与ASML展开7纳米工艺制程的EUV订单洽谈,2019年首台EUV可望落地。


值得一提的是,中芯国际正好在今年3月宣誓进军7纳米,还表示已和ASML达成合作。由此看来,ASML所说的“晶圆厂巨头”应是中芯国际无疑了!


没有EUV,芯片制造死路一条


作为集成电路制造过程中最核心的设备,光刻机至关重要,芯片厂商想要提升工艺制程,没有它万万不行,中国半导体工艺为啥提升不上去,光刻机被禁售是一个主要因素。



一般来说,一家芯片代工厂,从客户那里获得一个芯片生产订单开始算起,需要在60天内为该客户生产完所有硅片,这些硅片经过封装和测试等环节后,大约又需耗时一个月。


不过,如果这家芯片代工厂采用EUV光刻技术,所用生产时长将会大幅缩短,并且产品良率也会提高很多。EUV最大的优点就是20多天即可出厂,而用其他工艺则要80多天。


所以说,大规模量产必须要用到EUV。而且,没有EUV光刻机,晶圆代工厂在7纳米之战中毫无胜算!


下附问答全文:


问:针对国内市场 、客户,各方现在传出许多声音,听说国内晶圆厂都预定不到EUV光刻机 “有钱难买EUV”?


答:首先,我必须澄清这绝非事实。中国本地的晶圆厂与所有国际客户,于ASML而言都是一视同仁的,只要是确认订单,EUV要进口到中国完全没有任何问题。


由于EUV零组件多达5万多个部件,从客户下单到正式交货,交期约21个月,这个情况,对每个客户都是完全一致的。


事实上,客户已进入7纳米工艺制程技术研发阶段,并且与ASML展开EUV的商谈。如果最终订单确认,最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂,我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机,抱持乐观的期待。同时认为一旦一家中国客户采用,其他客户也会快速跟进。


问:EUV似乎是持续推进摩尔定律、延续未来纳米工艺往下延伸的关键,未来进一步规划与ASML对摩尔定律的看法?


答:毫无疑问摩尔定律会继续下去,但每一制程技术节点之间的时间会延长,技术与资本门槛变得更高。


浸润式显影技术走到三重曝光(triple-patterning)阶段,成本已然超过EUV,生产交期更长、技术更为复杂,从量产的性价比角度,EUV在7纳米以下技术节点已属于最适方案。


目前EUV光源已经可达250watt,达到每小时量产125片12吋晶圆,下一阶段5纳米技术节点以下High-NA EUV已经在布局研发。


问:目前中国市场业务布局与销售情况如何? 2017年全年成长幅度与2018年的增长率预估?


答:全球半导体行业版图位移,不仅本地晶圆厂,包括国际晶圆厂也在增加中国投资,ASML预期,中国光刻机市场规模具30亿欧元潜力。


总体而言,目前ASML在中国市场的装机量累积已达约500台,2018年可望续增超过50台的装机量。不仅一线大客户,还涵盖许多中、小型晶圆厂共计多达40多家客户。


从销售额轨迹来看,中国市场销售额在2013-2015年维持持平,2016年微幅成长至6亿欧元,2017年上半年中国市场销售水平已达4亿欧元,因此今年将较去年将有明显增长。


由于中国晶圆厂2018-2019年持续投入资本扩充产能,ASML 2018年销售很可能创下中国区销售新高的纪录,而2019年也会持续呈现更明显的跳跃式增长。


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