三星计划2030年实现无人化全自动芯片工厂
2024年1月4日，三星电子正式宣布计划到2030年实现其芯片工厂的完全自动化，无需人工操作。为了达成这一雄心勃勃的目标，三星电子已开始开发“智能传感系统”，旨在提高产量并改变半导体工厂的运营方式。该系统主要用于实时监控和分析生产过程，目前可以自动处理等离子体均匀性。 智能传感系统是芯片工厂的完全自动化的重要组成部分，预计将在使这些智能、全自动晶圆厂成为现实的过程中发挥至关重要的作用。三星目前正在向智能传感器等项目投资数千万韩元，并希望获得长期投资回报。 目前正在开发的智能传感器旨在测量晶圆上等离子体的均匀性。因为半导体制造中的蚀刻、沉积和清洗等工艺的结果很大程度上受到等离子体均匀性的影响，因此在这方面的精确测量和管理至关重要。该智能传感系统的开发是团队合作的成果，涉及合作伙伴和学术机构的合作。这些新型传感器的重要特点是它们的尺寸很小巧：可以安装到现有的晶圆厂中，并且不需要额外的空间，这在洁净室中非常宝贵。 有趣的是，智能传感器的本地制造标志着三星等韩国芯片制造商在技术自主性上的巨大突破。目前，这些公司严重依赖外国工具来实现先进工艺，但随着智能传感器本土制造的推进，三星正迈向自主研发的新阶段。 在三星的计划中，到2030年，他们将拥有完全无人值守的半导体生产设施。这需要系统能够管理大量的数据，并通过智能化手段自动调整设备性能。实现这一目标将使三星在全球半导体产业中更具竞争力，提高生产效率的同时，减少对人工操作的依赖。
