激光溅射波薄膜开启新纪元的传感器技术论文探索
导语：在14-4PH不锈钢膜片上，通过先进的加工工艺技术，创造了惠斯登电乔组成的合金薄膜应变单元PMM102压力传感器。其溅射合金薄膜压力敏感元件采用分子形式在弹性体上淀积，形成薄膜应变电阻与弹性体紧密结合，以分子键为基础，可长期稳定工作于—50至150摄氏度范围内。生产过程中，该传感器经过严格的高温低温循环和两千次疲劳处理，使其具有高准确度、宽工作温度范围、良好的温漂性能、高稳定性和可靠性，并且具备抗振动、抗冲击及抗辐射能力。激光焊（或电子束焊）技术将薄膜式压力敏感元件与不锈钢压力接头融为一体，其结构件材料采用17-4PH不锈钢，便于长期稳定的运作。此类产品广泛应用于航空航天、交通运输、水利工程等多个自控测量行业。
安装和使用：该传感器可以直接安装到螺纹接口，无需特定位置限制，但为了满足CE标准，必须使用屏蔽电缆并确保屏蔽层连接到机壳和大地以实现信号保护。在遇到输出无信号或超出预设值时，要首先检查加长电缆是否有断路现象或通路问题；当读数错误时，则需要确认油液是否缺失以及油路是否存在空气泡。如果出现缺油情况，可以通过手动泵进行补充，而对于空气泡则需排除后再继续操作。当怀疑传感器故障，可拆卸并与活塞压力计连接，以验证零点和满量程调整值；此外，还有一对电位器用于调节输出零点和满量程值，只需拔下Hirschmann接头后即可进行调整。
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